Manometer für Ultrahochreine und saubere Trockenluft— Serien PGU und PGC

959

Manomete r Ultra hochre ine und s aube re Trocke nlu f t

Se r ie n PGU und PGC ■ Genauigkeit in Übereinstimmung mit ASME B40.100 ■ Endanschlüsse aus 316L VAR (Serie PGU) ■ Abschlüsse Rückseite mittig und unten

MESSGERÄTE

■ Zifferblattgrößen 40 und 50 mm (1 1/2 und 2 Zoll)

960

Messgeräte

Inhalt Merkmale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

961

Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

961

Prüfungen und Kalibrierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

961

Reinigung und Verpackung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

961

Werkstoffe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

961

Prozessanschlüsse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

961

Abmessungen und Messbereiche Serie PGU: Ultrareine Manometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 962 Serie PGC: Saubere Trockenluft-Manometer . . . . . . . . .

963

Bestellinformationen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

964

Kennungen für Messbereiche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

964

Optionen und Zubehör . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

965

MESSGERÄTE

Manometer für Ultrahochreine und saubere Trockenluft— Serien PGU und PGC

Merkmale Swagelok bietet Bourdonsche Röhren-Manometer zur Überwachung von Systemdrücken und Vakuum an. Die Manometer können bei einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, von der Gasverteilung bis zu Verfahrensgeräten.

Technische Daten Messbereiche

Werkstoffe Werkstoffe Ultrahochrein (Serie PGU)

Saubere Trockenluft (Serie PGC)

Endanschluss

Edelstahl 316L VAR, elektropoliert

Edelstahl 316

Bourdonsche Röhre

Edelstahl 316L

Edelstahl 316

Bauteil

Informationen zu den Anzeigebereichen für die Serie PGU finden Sie auf Seite 962, zu den Anzeigebereichen für Serie PGC auf Seite 963.

Gehäuse

Edelstahl 304

Mechanismus

Edelstahl

Genauigkeit

Sichtscheibe

■ Zifferblattgröße 50 mm (2 Zoll): ± 2 % / 1 % / 2 % der Spanne

(ASME B40.100, Güte B, EN 837-1 Klasse 2,5,JIS B7505 Klasse 2,5) ■ Zifferblattgröße 40 mm (1 1/2 Zoll): ± 3 % / 2 % / 3 % der Spanne

(ASME B40.100, Güte B, EN 837-1 Klasse 4, JIS B7505 Klasse 4)

Betriebstemperatur ■ Umgebungstemperatur: –40 bis 60°C (–40 bis 140°F) ■ Medientemperatur: –40 bis 100°C (–40 bis 212°F)

Temperaturfehler

Acryl (rastet ein) (40 mm [1 1/2 Zoll] Zifferblatt) Polykarbonat (Schraublinse) (50 mm [2 Zoll] Zifferblatt)

Zifferblatt

Jedes ultrahochreine und saubere Trockenluft-Manometer wird 100 % werkseitig kalibriert und mit einem Heliumlecktest auf eine maximale Leckrate von 1 3 10 –9 std cm3/s geprüft.

Reinigung und Verpackung Serie PGU ■ UHP „rein“ für Halbleiter-Gasanwendungen gemäß SEMI/SEMATECH

Polykarbonat (Schraublinse) (50 mm [2 Zoll] Zifferblatt)

Aluminium

Zeiger

Medienberührte Bauteile werden kursiv dargestellt.

Prozessanschlüsse Anschluss

Kennung

Ultrahochrein (Serie PGU)

± 0,4 % pro 10°C (18°F) Temperaturänderung von 20°C (68°F)

Prüfungen und Kalibrierung

961

1/4 Zoll VCR®Innengewinde

4FSF

1/4 Zoll drehbares VCRAußengewinde

4FSM

1/4 Zoll integriertes VCRAußengewinde

4FFM

Saubere Trockenluft (Serie PGC)

■ Gereinigt und verpackt in einem Reinraum Klasse 100/10 ■ In zwei Beutel verpackt

1/4 Zoll NPT Außengewinde

4NPT

■ Mit Stickstoff gespült ■ Schutzkappe über Gewindeanschluss

Serie PGC

Weitere Informationen über VCR-Verschraubungen finden Sie im Swagelok® Katalog VCR-Verbindungen mit Metalldichtscheibe (MS-01-24DE), Seite 116.

■ Montiert, gereinigt und verpackt in einem Reinraum Klasse 100

NPT Endanschlüsse erfüllen ASME B1.20.1.

■ Verpackt in einem einzelnen Nylonbeutel ■ Mit Stickstoff gespült ■ Schutzkappe über Gewindeanschluss

MESSGERÄTE

■ ASME B40.100, Level IV

962

Messgeräte

Abmessungen und Messbereiche Die Abmessungen in Millimeter (Zoll) dienen nur als Referenz und können sich ändern. Siehe Seite 964 für Bestellinformationen und Kennungen für den Messbereich.

Serie PGU: Ultrareine Manometer 50 mm (2 Zoll) Manometer Messbereiche

Anschluss unten

Anschluss Rückseite mittig

Vakuum-Manometer

29,0

10,9 (0,43)

■ Vakuum bis 15 psi bis zu Vakuum bis

300 psi

(1,14)

■ Vakuum bis 0,1 MPa bis zu Vakuum bis

2,1 MPa

57,9 (2,28)

Überdruck-Manometer

50,8 (2,00)

■ 0 bis 15 psi bis zu 0 bis 3000 psi ■ 0 bis 0,1 MPa bis zu 0 bis 21 MPa

29,0

10,9

A

(1,14)

(0,43)

18,5

(0,73)

57,9

50,8 (2,00)

(2,28)

14,0

(0,55)

A

Endanschlüsse Typ

Größe

VCRInnengewinde

A mm (Zoll) 58,9

Drehbares VCRAußengewinde

1/4 Zoll

Integriertes VCRAußengewinde

47,8

Integriertes VCRAußengewinde

27,4 (1,08)

■ Vakuum bis 15 psi bis zu Vakuum bis 39,1

300 psi

(1,54)

■ Vakuum bis 0,1 MPa bis zu Vakuum bis

14,0

2,1 MPa

(0,55)

Überdruck-Manometer

A

■ 0 bis 15 psi bis zu 0 bis 3000 psi ■ 0 bis 0,1 MPa bis zu 0 bis 21 MPa Endanschlüsse Typ

Größe

VCRInnengewinde Drehbares VCRAußengewinde MESSGERÄTE

Integriertes VCRAußengewinde

A mm (Zoll) 65,3

1/4 Zoll

(2,57)

54,9 (2,16)

Größe

VCRInnengewinde Drehbares VCRAußengewinde

40 mm (1 1/2 Zoll) Manometer Anschluss Rückseite mittig Vakuum-Manometer

Typ

(2,32)

(1,88)

Messbereiche

Endanschlüsse

A mm (Zoll) 65,8

1/4 Zoll

(2,59)

56,6 (2,23)

Manometer für Ultrahochreine und saubere Trockenluft— Serien PGU und PGC

963

Abmessungen und Messbereiche Die Abmessungen in Millimeter (Zoll) dienen nur als Referenz und können sich ändern. Siehe Seite 964 für Bestellinformationen und Kennungen für den Messbereich.

Serie PGC: Saubere Trockenluft-Manometer 50 mm (2 Zoll) Manometer

Anschluss unten

Messbereiche

29,0

10,9

Vakuum-Manometer

(1,14)

(0,43)

■ Vakuum bis 15 psi bis zu Vakuum

bis 300 psi ■ Vakuum bis 0,1 MPa bis zu Vakuum

bis 2,1 MPa ■ 0 bis 15 psi bis zu 0 bis 6000 psi

50,8 (2,00)

49,3 (1,94)

14,0

■ 0 bis 0,1 MPa bis zu 0 bis 40 MPa

(0,55)

18,5 (0,73)

Anschluss Rückseite mittig 10,9

29,0

(0,43)

(1,14)

14,0 (0,55)

57,9

50,8

(2,28)

(2,00)

55,1 (2,17)

MESSGERÄTE

Überdruck-Manometer

57,9 (2,28)

964

Messgeräte

Bestellinformationen Erstellen Sie eine Manometer-Bestellnummer, indem Sie die Kennungen, wie unten gezeigt, miteinander kombinieren. Die Kennungen für Optionen in alphabetischer Reihenfolge angeben.

PGU - 50 - PC100 - C - 4FSF - BF Serie

Optionen (Siehe Seite 965.) B = Kalibrierungszertifikat E = Materialtest-Zertifikat F =Befestigungsklemme für Schalttafelmontage (nur für Zifferblattgröße 50 mm [2 Zoll] und Anschluss an der Rückseite mittig) G =Frontflansch (nur Zifferblattgröße 50 mm [2 Zoll] und Anschluss an der Rückseite mittig) M =Alarm-Kontaktschalter (nur 50 mm [2 Zoll] Zifferblattgröße und Anschluss Rückseite mittig)

PGU = Manometer, ultrahochrein (Serie PGU) PGC = Manometer, saubere Trockenluft (Serie PGC)

Zifferblattgröße 40 = 40 mm (1 1/2 Zoll) Zifferblatt (nur Serie PGU) 50 = 50 mm (2 Zoll) Zifferblatt

Messbereich Siehe unten

Anschlussgröße und Art Serie PGU 4FSF = 1/4 Zoll VCR-Innengewinde 4FSM =1/4 Zoll drehbares VCRAußengewinde 4FFM =1/4 Zoll integriertes VCRAußengewinde Serie PGC 4NPT = 1/4 Zoll NPT Außengewinde

Anschluss C = Rückseite mittig L = unten (nur für Zifferblattgröße 50 mm [2 Zoll])

Kennungen für Messbereiche Der ausgewählte Messbereich sollte ca. das zweifache des Systembetriebsdrucks betragen, und der Systembetriebsdruck sollte im mittleren Bereich (25 bis 75%) des Messbereichs liegen. Kontaktieren Sie Ihren autorisierten Swagelok Vertriebs- und Servicevertreter, falls der Betriebsdruck 75% des Messbereichs übersteigt.  er zulässige Höchstdruck hängt vom D Endanschluss ab.

Messbereich, psi (bar) (Primärskala: psi; Sekundärskala: bar) Minimum

Maximum

Kennung

Messbereich, MPa (Primärskala: MPa; keine Sekundärskala) Minimum

Serien PGU und PGC

–1 bar (–30 Zoll Hg)

Maximum

Kennung

Serien PGU und PGC

1 (15)

PC15

0,1

MC01

2 (30)

PC30

0,2

MC02

4 (60)

PC60

0,4

MC04

6,8 (100)

PC100

0,7

MC07

11 (160)

PC160

1,1

MC11

13,6 (200)

PC200

1,4

MC14

20,4 (300)

PC300

2,1

MC21

1 (15)

P15

0,1

M01

2 (30)

P30

0,2

M02

4 (60)

P60

0,4

M04

-0,1 MPa

6,8 (100)

P100

0,7

M07

0 bar

11 (160)

P160

1,1

M11

(0 psi)

13,6 (200)

P200

1,4

M14

20,4 (300)

P300

2,1

M21

40 (600)

P600

4,0

M40

68 (1000)

P1000

7,0

M70

200 (3000)

P3000

0 MPa

21

MESSGERÄTE

0 bar (0 psi)

M210

Nur Serie PGC

Nur Serie PGC 272 (4000)

P4000

340 (5000)

P5000

400 (6000)

P6000

0 MPa

28

M280

35

M350

40

M400

Manometer für Ultrahochreine und saubere Trockenluft— Serien PGU und PGC

965

Optionen und Zubehör Kalibrierungszertifikate

Alarm-Kontaktschalter

Mit dieser Option erhält der Benutzer ein Kalibrierungsblatt und ein Manometer mit Seriennummer, das mit einem zum National Institute of Standards and Technology rückverfolgbaren Messgerät kalibriert wurde.

Für die Zifferblattgröße 50 mm (2 Zoll) besteht die Option eines Alarm-Kontaktschalters. Der werkseitig montierte Schalter hat eine regulierbare Einstellung, mit der Hoch- oder Niederdruck angezeigt werden kann.

Materialzeugnisse

Technische Daten

Diese Dokumente bestätigen, dass die Werkstoffzusammensetzung der medienberührten Teile von unabhängigen Dritten überprüft wurde.

Betriebsspannung Restwelle

10 %

Ruhestrom

≤ 10 mA

Max. Umschaltspannung

≤ 100 mA

Spannungsverlust

≤ 10 µA

Befestigungsklemme für Schalttafelmontage Werkseitig installierte Optionen werden in der Manometerbestellnummer unter Bestellinformationen angegeben. 18,5 (0,73)

70,9 (2,79)

9,7 (0,38) Max. Schalttafeldicke

53,4 (2,10)

66,8 (2,63)

Befestigungsklemme für Schalttafelmontage

10 bis 30 V (dc)

Spannungsabfall bei IMAX

≤ 0,7 V

Umschaltfrequenz

1000 Hz

Umgebungstemperatur

–25 bis 70°C (–13 bis 158°F)

Ausgangsfunktion

Normal offen (geschlossen und rote LED EIN, wenn Druck weniger als Sollwert)

Ausgangsart

NPN

Umschaltpunkt

Ca. 55% von Einsatztiefe

Schutzklasse (DIN 40050)

IP 67

Kabellänge

1 m (3,2 ft)

Konsolenöffnung 55,0 (2,17) Zur bündigen Montage von Manometern an der Rückseite mittig sind werkseitig montierte Befestigungsklemmen zur Schalttafelmontage aus Edelstahl erhältlich.

Schaltplan

Frontflansch Werkseitig installierte Optionen werden in der Manometerbestellnummer unter Bestellinformationen angegeben.

3,6 (0,14) Durchm.

BN = (braun)

+

BU = (blau)

–

BK = (schwarz) A ROT

RL = Last

18,5 (0,73)

65,3 (2,57) Durchm.

53,4 (2,10)

76,2 (3,00)

Konsolenöffnung 55,0 (2,17)

MESSGERÄTE

Zur bündigen Montage von Manometern an der Rückseite mittig sind werkseitig montierte Befestigungsklemmen zur Schalttafelmontage aus Edelstahl erhältlich.

Achtung: Verwenden Sie niemals Kombinationen aus Teilen anderer Hersteller, und tauschen Sie keine Teile gegen Teile anderer Hersteller aus.

MS-02-163DE, RevG

Über dieses Dokument Vielen Dank für das Herunterladen dieses elektronischen Kataloges. Es ist ein Kapitel eines größeren gedruckten Buches –dem Swagelok Produkt Katalog. Elektronische Dateien wie diese werden aktualisiert wenn neue oder überarbeitete Informationen verfügbar sind und können so aktueller als die gedruckte Version sein. Die Swagelok Company ist ein wichtiger Entwickler und Hersteller von Fluidsystemlösungen, die Produkte, Bauteile und Dienstleistungen für die Forschung, Instrumentierung sowie die Industriezweige Biopharmazie, Öl- und Gasgewinnung, Petrochemie, alternative Kraftstoffe und Halbleiter umfassen. Mit seinen Werken für Produktion, Forschung, Service und Vertrieb unterstützt Swagelok ein weltweites Netzwerk von über 200 autorisierten Vertriebs- und Servicezentren in 57 Ländern. Auf der Swagelok Website können Sie Ihre autorisierte Swagelok Vertriebsniederlassung finden. Dort erhalten Sie Antworten auf Ihre Fragen bezüglich Produkteigenschaften, technischen Daten, Bestellnummern und allen weiteren Produktinformationen. Auf dieser Seite erfahren Sie auch mehr über den weiten Bereich der Serviceleistungen, die Sie exklusiv bei den Swagelok Vertriebs- und Servicecentern erhalten können.

Sichere Produktauswahl: Bei der Auswahl von Produkten muss das gesamte Systemdesign berücksichtigt werden, um eine sichere, störungsfreie Funktion zu gewährleisten. Der Systemdesigner und der Benutzer sind für Funktion, Materialverträglichkeit, entsprechende Leistungsdaten und Einsatzgrenzen sowie für die vorschriftsmäßige Handhabung, den Betrieb und die Wartung verantwortlich.

Garantieinformationen Swagelok Produkte fallen unter die eingeschränkte Swagelok Nutzungsdauergarantie. Für eine Kopie besuchen Sie bitte die Swagelok Website oder kontaktieren Sie Ihre autorisierte Swagelok Vetretung.

Swagelok, Ferrule-Pak, Goop, Hinging-Colleting, IGC, Kenmac, Micro-Fit, Nupro, Silver Goop, Snoop, SWAK, VCO, VCR, Ultra-Torr, Whitey—TM Swagelok Company Aflas—TM Asahi Glass Co., Ltd. ASCO, EI-O-Matic—TM Emerson AutoCAD—TM Autodesk, Inc. CSA—TM Canadian Standards Association CR-288—TM Jetalon Solutions, Inc. Dyneon, TFM—TM Dyneon Elgiloy—TM Elgiloy Limited Partnership FM —TM FM Global Grafoil—TM GrafTech International Holdings, Inc. Kalrez, Krytox, Viton—TM DuPont MAC—TM MAC Valves, Inc. Membralox—TM Pall Corporation Microsoft, Windows—TM Microsoft Corp. PH 15-7 Mo, 17-7 PH—TM AK Steel Corp picofast—Hans Turck KG Pillar—TM Nippon Pillar Packing Company, Ltd. Rapid Tap—TM Relton Corporation Raychem—Tyco Electronics Corp. SAF 2507—TM Sandvik AB Simriz—TM Freudenberg-NOK SolidWorks—TM SolidWorks Corporation Torlon—TM Amoco Performance Products, Inc. Torx—TM Textron, Inc. UL—Underwriters Laboratories, Inc. Xylan—TM Whitford Corporation