Mobile Robotik in der Halbleiterindustrie: Automatisierung bei Infineon Technologies Dresden 04.06.2014
Johannes Sturm Infineon Technologies Dresden GmbH
Übersicht Infineon Technologies Dresden HL-Fertigung: Werkstattfertigung unter erschwerten Bedingungen Automatisierungskonzept „Nebentätigkeiten“ Automatisierungslösungen Change Management Produktivitätssteigerung durch Automatisierung
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Automatisierung erfasst alle 4 „Produktionspartner“ 100%
Automatisierungsgrad
Transport
MaterialKontrolle
Anlagenschnitt stelle
Materialidentifi kation
Prozesskont rolle
Anlagenkon trolle
Handling & Transport
0%
Rezept Management
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APC/ SPC
Arbeits planTracking (MES)
Roboter
Lagerung und MCS
APC/ SPC
100 % Automatische Disposition
Auto Activity Mgmt
Scheiben für Anlagenkontrollen, Konditionierung
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Automatisierung erfasst alle 4 „Produktionspartner“ Infineon Dresden
100%
Automatisierungsgrad
Transport
MaterialKontrolle
Anlagenschnitt stelle
Materialidentifi kation
Prozesskont rolle
Anlagenkon trolle
Handling & Transport
0%
Rezept Management
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APC/ SPC
Arbeits planTracking (MES)
Roboter
Lagerung und MCS
APC/ SPC
100 % Automatische Disposition
Auto Activity Mgmt
Scheiben für Anlagenkontrollen, Konditionierung
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Unser Automatisierungskonzeptrezept 1. Verlagere Transport dahin, wo er nicht stört (Decke…) 2. Lagere das Material, wo es nicht stört, aber nicht weit weg von den Maschinen (Stocker, Local Buffer an der Decke) 3. Vereinfache und standardisiere Abläufe vor der Automatisierung, stabilisiere Anlagen 4. Trenne „Sonderabläufe“ vom Standardablauf, um diesen schlank zu halten. 5. Dynamische Simulation aller Automatisierungskomponenten ist obligatorisch! 6. Integriere IT, Anlagenspezialisten und Prozessfachleute in alle Projekte von Anfang an 7. Kümmere dich um alle von der Automatisierung betroffene Mitarbeiter. 8. Gehe möglichst nach dem Layout (nicht nach ROI…) vor; berücksichtige Stabilisierungsphasen und Rückschläge 2014-06-04
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Nebentätigkeiten – automatisch oder verboten Keine Losnummernkontrolle
Kein undentifiziertes Material
Allein die Standardisierung/Stabilisierung bringt schon erhebliche Vorteile!
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Arbeitsanweisungen – alles auf den Prüfstand! Konditionierungsvorschriften
Automatisierung schafft Transparenz! 2014-06-04
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Transport: MGI-Transportsystem
~6 km Transportsystem 2014-06-04
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Materialhandling Transportsystem-Anlage LUNA für benachbarte Anlagen mit hohem Durchsatz
Halle A4 Stand 438H 2014-06-04
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Materialhandling Transportsystem-Anlage Linear angeordnete Anlagen
Halle A4 Stand 438H 2014-06-04
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Materialhandling Transportsystem-Anlage Beliebig angeordnete Anlagen (Demo)
Halle A4 Stand 438H 2014-06-04
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So sieht es aus, wenn es fertig ist
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Klare, durchdachte und ehrliche Botschaften
Jeder auf dem Shopfloor ist betroffen. 2014-06-04
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Produktivitätssteigerung in jeder Hinsicht Qualität
Automatisierung
Geschwindigkeit Copy
Kosten Page 24
23.0
NUMBER OF LOTS
Geschwindigkeit: Zeitnahes und gleichmäßiges Beladen 600
120%
500
100%
400
80%
IMP005-04 Ionenstrahlimplanter (manuell)
300
60%
IMP005-05 IMP005-04: AVG. TOOL TIME = 0.44 HRS.
Ionenstrahlimplanter IMP005-05: AVG. TOOL TIME(Roboter) = 0.33 HRS.
200
40%
100
2.5
2.4
2.3
2.2
2.1
2
1.9
1.8
1.7
1.6
1.5
1.4
1.3
1.2
1.1
1
0.9
0.8
0.7
0.6
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
0% 0
0
20%
TOOL TIME (MVOU - MVIN) / HRS.
Maschinenbelegungszeit und Variabilität werden minimiert Copy
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Kosten
Keine Zahlen…
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Qualitätssteigerung durch Automatisierung Carrier Materialhandling Handling
Fehlerbehandlung
Schnellere Reaktion auf Abweichungen
Kaum noch Handlingsfehler
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Lessons Learnt Klare langfristige Vision erforderlich Aufwand auch in die Vermittlung der Strategie investieren Die betroffenen Mitarbeiter mitnehmen Bereichsweise vorgehen Abläufe erst standardisieren, dann für Automatisierung optimieren, dann erst automatisieren In die Systemstabilität investieren, nicht in Backups Erfahrener Systemintegrator ist erforderlich Prozessspezialisten und IT in jeder Beziehung einbinden Automatisierung braucht einen langen Atem!
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Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit
Johannes Sturm Infineon Technologies AG Am Campeon 1-12 85579 Neubiberg
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23.09.2012
