Messtechnik von Mahr in der Optikfertigung Dipl. Ing. Holger Hage Mahr GmbH Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena [email protected]

Mahr – ein Familienunternehmen

Carl Mahr (1830 - 1899)

Oscar Mahr (1866- 1937)

Carl Mahr (1894- 1967)

Oscar Mahr (1907- 1968)

Carl Fritz Mahr (1925 - 1992)

Thomas Keidel (geb. 1947)

Stephan Gais (geb. 1956)

• Geschäftsfelder: Messtechnik, Handmesstechnik, Zahnrad- u. Dosierpumpen, Kugelführungen • Gegründet: 1861 in Esslingen, Germany • Hauptstandort: Göttingen, Germany • Umsatz 2011: 195 Mio. € • Mitarbeiter 2011: ca. 1600 weltweit • Weltweit tätig in 60 Ländern • Weltweit ca. 17 Unternehmen „Messtechnik von Mahr in der Optikfertigung“ 2

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Mahr – die Herkunft 1861

Anzeigende Messgeräte, Lehren, Prüfmittel, Messmaschinen

1936

Längenmessgeräte

1945

Spinnpumpen, Kugelführungen

1973

Form- und Oberflächenmessgeräte

1990 1994

Mahr s.r.o, Probostov, Tschechien

1995

Ein Markenname: Mahr

1998

Mahr international / Mahr Precision Metrology, Suzhou, China

1999

Mahr Federal, Providence, USA

2000 2001

Mahr Metering Systems, Göttingen

2004

Mahr OKM, Jena

2006

Mahr Helios Messtechnik, Göttingen

2011

150 Jahre Mahr

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Mahr - Weltweit

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Mahr – bietet die größte Produktvielfalt Messtechnik

MarConnect. Data Processing

MarGear. Gear Metrology

Precimar. Precision Lenght Metrology „Messtechnik von Mahr in der Optikfertigung“ 5

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MarVision. Optical Metrology

MarTool. Measuring Equipment Inspection Equipment

MarForm. Form Metrology

MarSurf. Surface Metrology

MarGage. Standards, Gages and Gage Blocks

MarShaft. Shaft Metrology

Mahr – bietet die größte Produktvielfalt Handmesstechnik

MarCal. Calipers

Millimar. Electrical Lenght Measuring Systems

Digimar. Height Gages

MarStand. Indicator Stands Comparator Stands Run out Testing Instruments

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Micromar. Micrometers

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MarTest. Test Indicators Touch Probes

MarCator. Digital Indicators Dial Indicators

Marameter. Indicating Measuring Instruments

Millimess. Digital Comparators Dial Comparators

Multimar. Universal Measuring Instruments

Mahr – der Applikationsspezialist  Konzentriert sich auf branchenspezifische Anwendungen  Unterstützt Kunden bei der Suche / Auswahl der richtigen Messtechnik zur Umsetzung ihren messtechnischen Anforderungen  Applikationen / kundenspezifische Messlösungen

Automobil

Maschinenbau

Optik

ElektroniK

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Medizin

Neue Energien

Mahr – Standort Jena

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Mahr – Standort Jena Entwicklung optischer Systeme für die Mahr- Gruppe • Bildverarbeitung

• Beleuchtungssysteme • Formprüfende Interferometrie

Weltweiter Branchenvertrieb Optik • Vorrangig Branchenapplikationen für Rundoptik; Sphären, Asphären, optische Freiformen; Mikrooptiken

• Weißlichtinterferometrie

• Vertriebskoordination weltweit

• Fasersensorik

• Technischer Vertriebssupport und Anwendungstechnik

• Konfokalmikroskopie • Musterprojektionsverfahren

• Auftragsabwicklung und Versand

• Punktmuster • Streifenprojektion • Deflektometrie

• Streulicht Montage und Prüfung der optischen Systeme und Geräte „Messtechnik von Mahr in der Optikfertigung“ 9

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Branche Optik Vollstufiger Messsystemhersteller für Branche Optik • Glasoptiken – Sphären – Asphären - Sonderoptiken • Plastikoptiken – Sphären – Asphären - Freiformen • Mikro- Optiken und Blue Ray‘s – Sphären – Asphären

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Form- und Konturmessung im Fertigungsprozess

MarForm MFU 200

MarSurf CWM 100

MarSurf LD 260 2D

MarSurf FP 40/180

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Rauheitsmessung im Fertigungsprozess

MarSurf WM 100

MarSurf CWM 100

MarSurf XR 1

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Mahr Messtechnik für Branche Optik Messtechnik für Kontur- und Formmessungen sowie Passeprüfung

LD 130 / 260 Aspheric

MFU 200 Aspheric

CWM 100 „Messtechnik von Mahr in der Optikfertigung“ 13

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FP 40/180

TWI 60

Messtechnik für Rauheitsprüfungen

MarSurf XR 1

CWM 100

MarSurf WM 100

MarSurf CWM 100 3D-Messplatz – Konfokales Mikroskop in Kombination mit einem Weißlichtinterferometer • Höchste Präzision mit Sub-NanometerAuflösung • Ideal für technische, optische, Halbleiterund spiegelnde Oberflächen • 2D-Oberflächen-Analysen und MesswertAuswertungen • Topographische 3D-Oberflächen Analyse und Messwert- Auswertungen • Schnelle Messungen – kurze Messzeiten • Mikroskopische Bildfeldgrößen, einfach erweiterbar durch Stitching

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MarSurf CMW 100 Anwendungspektrum Ideales optisches 3D- Messsystem für die Ernst-Abbe Fachhochschule Jena. Breites Spektrum der Anwendungen für Lehre und Forschung für die Bereiche: • Optische Industrie • Halbleiterindustrie • Maschinenbau • Medizin • Qualitätskontrolle

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Applikation: Analyse von optischen Oberflächen Diffraktive Optiken

• Messung mit konfokalen Sensor • Auswertung von Oberfläche und Kontur

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Applikation: Analyse von optischen Oberflächen Mikrolinsen

• Messung mit konfokalen Sensor • Auswertung des Differenzprofils mit der Asphärenformel

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Applikation: Analyse von optischen Oberflächen Rauheitsmessung an polierten Linsen

• Messung mit Weißlichtsensor

• Auswertung von Rauheit

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Applikation: Analyse von metallischen Oberflächen Messung und Auswertung an grob geschliffenen und strukturierten Oberflächen • Messung von Oberflächenstrukturen: o feine und glänzende Strukturen werden mit dem Weißlichtinterferometer gemessen o grobe, rauhe und dunkle Strukturen – Messung mit Konfokalsensor • Ermittlung der Topografie – Vergleich mit der nominellen Struktur

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Applikation: Analyse von Wafern und Halbleiterelementen • Messung und Inspektion von HalbleiterBauelementen mit dem konfokalen Sensor: 3D-Auswertung der Oberflächenstrukturen und entlang von Profilschnitten. • Typische Lasermarkierungen mit tiefen und rauen Strukturen können problemlos analysiert und qualitativ beurteilt werden.

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Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit! Wir wünschen den Bereichen von Prof. Brunner und Prof. Bliedtner viel Erfolg bei der Arbeit mit dem MarSurf CWM 100.

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