Intelligentes Wasserrecycling

minitron elektronik gmbh

Die Ansprüche beim Dicing Prozess steigen: die Dimensionen von Chips werden kleiner, Sägespuren werden enger, Wafer und Substrate werden empfindlicher. An die Konstanz der Prozessbedingungen werden immer höhere Anforderungen gestellt. Gleichzeitig sollen auch immer strengere Umweltauflagen erfüllt werden, um Normen wie die DIN EN ISO14001 zu erreichen. Dabei rückt der Wasserverbrauch der Trennschleifprozesse zunehmend in den Mittelpunkt der Betrachtungen. Mit unseren intelligenten Anlagen zum Wasserrecycling machen Sie Ihre Prozzesse grüner und erhalten gleichzeitig mehr Kontrolle über Ihre Prozessbedingungen. Dadurch können Sie Ihre Trennschleifprozesse entscheidend voran bringen.

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Die Kreislaufkühler m  2011 & m  2012 versorgen die Hochleistungsspindeln moderner Wafersägen mit gleichbleibend temperiertem Kühlwasser.

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Mit der Zentrifugenkreislauf m  4011 und dem Filterkreislauf m  4014 kann man das zuvor aufwändig entsalzte und gefilterte Blattkühlwasser mehrfach verwenden und erhält zusätzlich die Kontrolle über die Prozesstemperaturen und die Möglichkeit Additive einzusetzen.

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Mit dem Schleifnebelabsauger m  3011 schützen Sie Ihr Bedienpersonal und Ihren Reinraum vor dem mit Schleifpartikeln belastetem Staub/Nebel.

Inhalt:

mtt 2011

Seite 3

mtt 4011

Seite 4

Filterkreislauf

mtt 4014

Seite 5

Schleifnebelabsauger

mtt 3011

Seite 6

Kreislaufkühler Zentrifugenkreislauf



tt 2011 / mtt 2012

Kreislaufkühler m

mtt 2011 ist ein geschlossener Ein-Kreislauf-Kühler,

in seiner Kühlleistung angepaßt für eine Wafersäge. Die Hauptaufgabe besteht darin, die Sägespindel auf Raumtemperatur zu halten. Nach dem Durchströmen der Spindel wird die Kühlflüssigkeit durch den Wärmetauscher des m  4014 geleitet. Das Prozesswasser hat damit die gleiche Temperatur wie die Spindel. Eine genaue Temperaturkontrolle für die wichtigen Prozesskomponenten ermöglicht das Einhalten der engen Maßtoleranzen, die das Chip-Trennen erfordert.

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mtt 2012 Ist ein Kreislaufkühler mit zwei getrennten

Kältemaschinen, um optimale Leistungsreserven zu bieten. Auch m  2012 ist für den Einsatz an einer Wafersäge ausgelegt. Prozesswasser mit Temperaturen von 5 bis 15°C kann die Schnittqualität bei einigen Werkstoffen deutlich verbessern.

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Für einen optimalen Prozess.

mtt 2011 (links) und mtt 2012 (rechts)

mtt 2011 Technische Daten:

mtt 2012 Technische Daten:

Kälteleistung bei 20°C : 940W Kälteleistung bei 10°C : 780W Temperaturbereich : -10°C - +40°C (abhängig vom Kältemittel) Kältemittel : R-134a Regelgenauigkeit : +/- 1K Display : LCD Tankvolumen : 4,6l Max. Stromaufnahme : 3,5 A Fördermenge : 12 l/min (bei 0bar) Förderhöhe : 26mWs Abmessungen (H x B x T) 60x34x40cm Netzspannung : 230V/50Hz/1 Gewicht : 41kg

Kälteleistung bei 20°C : 2000W Kälteleistung bei 10°C : 1500W Temperaturbereich : -10°C - +40°C (abhängig vom Kältemittel) Kältemittel : R-134a Regelgenauigkeit : +/- 1K Display : LCD Tankvolumen : 9,0l Max. Stromaufnahme : 8,0 A Fördermenge : 12 l/min Förderhöhe : 30mWs Abmessungen (H x B x T) 76x44x47cm Netzspannung : 230V/50Hz/1 Gewicht : 80kg

tt 4011

Zentrifugenkreislauf m

Für die Fertigung von kleinsten Bauteilen der Mikrotechnik (Elektronik, Optik, Mechanik) werden vorranging planare Techniken eingesetzt. Ausgangspunkt der Herstellchargen sind Wafer oder Substrate aus Einkristallen oder amorphen, harten Materialien. Wenn hohe Anforderungen an die Kanten der Einzelchips gestellt werden, ist das Wafersägen (Dicing) Stand der Technik. Für diese Vereinzelungsprozesse werden Diamanttrennscheiben eingesetzt, die zur Kühlung, Stabilisierung und Beseitigung des Schleifabriebs eines scharfen Prozesswasserstrahls bedürfen. Das Wasser ist vollentsalzt, in einigen Fällen werden zur Verbesserung des Trennergebnisses oder zur Steigerung der Werkzeugstandzeit Zusätze beigemischt.

Das Volumen des Vorlagebehälters wird gekühlt, um entstehende Prozesswärme zu kompensieren. Sämtliche wasserberührenden Teile sind aus Kunststoff oder Edelstahl. Die Temperatur im Vorlagebehälter wird kontrolliert oder geregelt. Die Hochlaufeigenschaften der Zentrifuge werden kontrolliert und damit der Füllstand der Schleifrückstände ermittelt. Die Zentrifugentrommel ist mit einem leicht zu wechselndem Einsatz ausgestattet, mit dem sich die Rückstände sauber entfernen lassen, wichtig beim Bearbeiten von toxischen Materialien. Für einen umweltfreundlichen Prozess

Der Wasserverbrauch moderner Wafersägen liegt im Bereich von 2 bis 6 l/Min, was Anlass gibt, das Prozesswasser zu rezirkulieren. Zum Trennen der Schleifrückstände vom Prozesswasser stehen verschiedene Separierungstechniken zur Wahl. Speziell für den Einsatz an Wafersägen haben wir den Zentrifugenkreislauf mtt 4011 entwickelt. Das System arbeitet mit einem Wasservolumen von 30 l. Das Wasser wird in einen Vorlagebehälter gefüllt und von diesem mit einer leistungsstarken Tauchpumpe zur Wafersäge (im benötigten Druckbereich) gefördert. Von der Säge wird das gebrauchte Prozesswasser in die Zentrifuge geleitet, von Schleifrückständen befreit und in den Vorlagebehälter zurückgepumpt.

mtt 4014 Technische Daten: Wasservolumen : 30 l Wasser Druck 3 bar bei 3 l /Min 2 bar bei 2 l/Min Trommelrotation 2000 upm im Normalbetrieb 1000 upm im Standy-Betrieb Kühlungsbedarf prozessabhängig Anschlusswerte: Elektroanschluss : Leistungsaufnahme : Abmessung : Gewicht : Kühlwasserbedarf :

230/240 V, 50 Hz 1 kW 800x360x700 mm (LBH) 40 kg prozessabhängig Empfehlung Umlaufkühler

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m  1011

Zentrifugenkreislauf

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mtt 4011

tt 4014

Filterkreislauf m m tt  4014

Werkzeugstandzeiten und damit auch zu deutlichen Kostenoptimierungen. Einige Sensorsubstrate und Halbleiterwafer sind toxisch bis hoch-toxisch. m  2014 portioniert die Abwassermengen auf handhabbare Eimervolumen. Im m  2014 Filtersystem befindet sich eine Membran, die undurchlässig für Teilchen >0,1µm ist. Ein regelmäßig ausgelöster „Entstaubungsvorgang“ mit anschließender Sauberspülung sorgt für gleichbleibende Prozesswassermengen, bei hoher Wasserqualität. Gute Entscheidungen für die Technik, für die Umwelt und für Kostensenkung heißen:

Der Dicingprozess benötigt je nach Material 2 - 6 l/Minute Prozesswasser je Säge. 5l/min = 300l/h = 4.500l/Tag=10m³/Jahr. Je nach Kosten für das DI-Wasser kann sich m  4014 innerhalb kurzer Zeit amortisieren. Bei Verwendung von Prozesswasseradditiven, die die Wasserkosten verzehnfachen können, macht erst ein Kreislaufsystem den Prozess wirtschaftlich. Optimierte Prozesswassertemperatur und mit Additiven verbessertes Prozesswasser bedeuten geringeres Chipping, schmalere Schnittkerben, längere Blattstandzeiten. Dies führt zu verbesserter Ausbeute, kürzere Downtime und längeren

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mtt 2011 und mtt 4011 / mtt 4014.

von Säge

mtt 4014

Konzentrat Funktionsdiagram

zur Säge Filtrat

mtt 4014 mtt 4014 Technische Daten: Prozesswasser Vol. : 50l Temperatur Bereich : 5-35°C Filterleistung : 10 l/min Wasserdruck : 3,5 bar Druckluft : 6 bar Display : TFT Abmessungen (H x B x T) 160x30x40cm Netzspannung : 220V, 5A Gewicht : 90 kg

Für eine umweltfreundliche Entsorgung

mtt 4014 3

tt 3011

Schleifnebelabsauger m

Wenn bei der Herstellung von Mikrochips Schnittkannten mit höchster Präzision gefordert sind, ist der Einsatz von Wafersägen unumgänglich. Die Trennleistung wird mit präzisen Diamanttrennscheiben auf hochtourigen luftgelagerten Spindeln erreicht. Zur Werkzeugkühlung und Unterstützung wird ein Wasserstrahl auf die Trennscheibe gerichtet, der durch die hohe Umlaufgeschwindigkeit in feinste Wasserpartikel, angereichert mit Schleifstaub, vernebelt wird. Der Nebel aus Wasser und Schleifstaub kann für das Reinraumpersonal eine unangenehme Atmosphäre schaffen. Außerdem erzeugt er schwer zu beseitigende Ablagerungen auf Produktionssubstraten und an empfindlichen Sägekomponenten, Optiken, Oberflächen und Sensoren.

Schleifnebelabsauger

Die Lösung:

mtt  3011

ist eine Luftzentrifuge, die ein hohes Luftvolumen aus der Sägekammer aufnimmt. Feuchte und belastete Nebel werden, bevor sie sich ablagern können, in den Separator gesaugt, von der Luft getrennt und gefiltert. Saubere Luft gelangt wieder in den Reinraum, dem Reinraum wird somit keine Luft entzogen. Die abgeschiedenen Rückstände und Wasser werden ausgeleitet in einen Sammelbehälter oder in dem MINITRON Zentrifugenkreislauf wiederverwendet.

mtt 4011

Keine Luftentnahme aus dem Reinraum, kein Einleiten wässriger oder toxisch-wässriger Nebel in die zentrale Hausabsaugung, saubere “HEPA“ gefilterte Arbeitsatmosphäre, für einen grünen Reinraum.

mtt 3011

mtt 3011 Technische Daten: Display : LCD Leistung : 0,37 kWl Abmessungen (H x B x T) 66x56x74cm Netzspannung : 230V/50Hz/1 Gewicht : 45kg Für einen grünen Reinraum

Alle Rechte vorbehalten. Alle Spezifikationen sind unverbindlich und nur als Information.

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